Травлення - кремній
Травлення кремнію відбувається, звичайно, і в сумішах лугу з окислювачами, наприклад перекисом, проте ніяких переваг в порівнянні з чистим лугом ці склади не мають і застосовуються тому рідко. Цей травитель, як і більшість інших, є селективним. [1]
Травлення кремнію ведуть у водних розчинах плавикової кислоти, в суміші плавикової і оцтової кислот (1: 1), в 10% - ном розчині HF в етиловому спирті і ін. Електролітом для полірування кремнію служить 0 5 - 3% - ная плавикова кислота з 30 % гліцерину. [2]
Травлення кремнію ведуть у водних розчинах плавикової кислоти, в суміші плавикової і оцтової кислот (1: 1), в 10% - ном розчині HF в етиловому спирті і ін. Електролітом для полірування кремнію служить 0 5 - 3% - ная плавикова кислота з 30 % гліцерину. [3]
Для травлення кремнію використовують суміш розчинів плавикової, азотної і оцтової кислот. На рис. 3.102 показана швидкість травлення для зазначеної трикомпонентної систе ми і для системи, що містить замість оцтової кислоти воду. [5]
Для травлення кремнію використовують різні поєднання азотної і плавикової кислоти. Зі збільшенням відносного вмісту плавикової кислоти швидкість - правління зростає, але кислотоустойчивость фоторезиста падає. [6]
Швидкість травлення кремнію в срібно-гліколевої Травители показана на фіг. [7]
Принцип травлення кремнію і германію заснований на окисленні їх поверхні і наступному видаленні цих окислів, тому до складу травителей повинні входити речовини, що окислюють поверхню цих матеріалів і розчиняють утворилися оксиди. Крім того, в травители вводять компоненти, призначенням яких є прискорення або уповільнення реакції травлення. Після травлення кристали ретельно промивають, а потім сушать. [8]
Зі збільшенням концентрації швидкість травлення кремнію в розчині NaOH збільшується, проте при збільшенні концентрації NaOH в розчині понад 30% швидкість травлення не збільшується. Тому для травлення кремнію застосовують розчини, які містять від 10 до 30% NaOH або КОН. [10]
Ще більш низькі температури травлення кремнію забезпечує иодоводорода в суміші з воднем 80% (об'ємні. При 900 С і концентрації иодоводорода близько 1% (об'ємні. При концентраціях фтороводорода понад 1 2% (об'ємні. [12]
Однак перекис водню не може бути використана для травлення кремнію. так як не взаємодіє з ним. У табл. 2 наведені склади деяких поліруючих і селективних травителей для кремнію. [14]
Розглянуто причини розбіжності експериментальних і розрахованих по дифузійної моделі швидкостей росту і травлення кремнію. Проведені експерименти з моделювання рівноваги зростання - травлення в потоці показали, що вхідні склади газової суміші (S1C14 - НС1 - Н2), відповідні нульової швидкості росту кремнію, відрізняються від термодинамічно рівноважного складу газової фази для системи кремній - хлор - водень. Знайдено, що при розрахунку швидкостей росту і травлення по дифузійної моделі мінімальні розбіжності з експериментом мали місце, якщо в розрахункових співвідношеннях термодинамічний рівноважний склад газової суміші замінити рівноважним складом, визначеним для реальних умов, і в разі травлення ввести поправку, що враховує меншу товщину прикордонного шару для дихлорида кремнію. [15]
Сторінки: 1 2 3 4