іонну розпилення, руйнування негативного електрода (катода) в газовому розряді під дією ударів позитивних іонів. У більш широкому сенсі - руйнування твердої речовини при його бомбардуванні зарядженими або нейтральними частками.
К. р. з одного боку, небажане явище, яке зменшує термін служби електровакуумних приладів (Див. Електровакуумні прилади); з ін. боку, К. р. має практичне застосування для очищення поверхонь, виявлення структури речовини (іонне травлення), нанесення тонких плівок, для отримання спрямованих молекулярних пучків (Див. Молекулярні і атомні пучки) і т.д. Бомбардирующие іони, проникаючи в глиб мішені, викликають зміщення її атомів. Ці зміщені атоми, в свою чергу, можуть викликати нові зсуви і т.д. Частина атомів при цьому досягає поверхні речовини і виходить за її межі. При певних умовах частинки можуть залишати поверхню мішені у вигляді іонів (див. Іонна емісія). В монокристалах найбільш сприятливі умови для виходу частинок складаються в напрямках, де щільність упаковки атомів найбільша. У цих напрямках утворюються ланцюжки зіткнень (фокусони), за допомогою яких енергія і імпульс зміщених часток передаються з найменшими втратами. Істотну роль при К. р. відіграє процес каналювання іонів, що визначає глибину їх проникнення в мішень (див. Каналування заряджених частинок).
К. р. спостерігається при енергії іонів E вище деякої величини E0. званим порогом К. р. Значення E0 для різних елементів коливаються від одиниць до декількох десятків ев. Кількісно К. р. характеризується коефіцієнтом розпилення S. дорівнює кількості атомів, вибитих одним іоном. Поблизу порога S дуже мало (10 -5 атомів / іон), а при оптимальних умовах S досягає декількох десятків. Величина S не залежить від тиску газу при малих тисках р 2 (0,1 мм рт. Ст.), Але при р> 13,3 н / м 2 (0,1 мм рт. См.) Відбувається зменшення S за рахунок збільшення числа частинок, що осідають назад на поверхню. На величину S впливають як властивості бомбардують іонів - їх енергія Ei (рис. 1), маса Mi (рис. 2), кут падіння її на мішень (рис. 3), так і властивості розпилюючи речовину - чистота поверхні, температура, кристалічна структура , маса атомів мішені.
Кутовий розподіл часток, що вилітають з розпилюється поверхні, анізотропно. Воно залежить від енергії іонів, а для монокристалів також від типу кристалічної решітки і будови розпилюється межі. Осад з розпилюючи речовину, що утворюється на екрані, має вигляд окремих плям, причому симетрія картини осаду та ж, що і симетрії розпилюється межі і утворилися на ній в результаті К. р. фігур травлення (рис. 4). Енергії розпорошених частинок коливаються від кількох доль ев до величин порядку енергії первинних іонів. Середні енергії розпилюються частинок складають зазвичай десятки ев і залежать від властивостей матеріалу мішені і характеристик іонного пучка.
Літ .: Моргуліс Н. Д. Катодне розпорошення, «Успіхи фізичних наук», 1946, т. 28, ст. 2-3, с. 202; Плешивцев Н. В. Катодне розпорошення, М. 1968; Камінський М. Атомні і іонні зіткнення на поверхні металу, пров. з англ. М. 1967; Томпсон М. Дефекти і радіаційні пошкодження в металах, пров. з англ. М. 1971.
Мал. 1. Залежність коефіцієнта розпилення S мідної мішені від енергії Е бомбардують іонів.
Мал. 2. Залежність коефіцієнта розпилення S від маси бомбардують іонів Mi (Е i = 400 ев).
Мал. 3. Залежність S від кута падіння α іонів, що бомбардують поверхню Cu, Ta, Fe, Pt (цифри вказують енергію іонів).
Pис. 4. Вгорі - осад, що утворюється на прозорому екрані, розташованому паралельно розпилюється межі монокристалу Сu [а - межі (100), б - межі (110), в - межі (111)], внизу - поглиблення, що виникають при цьому на поверхнях граней .
Велика Радянська Енциклопедія. - М. Радянська енциклопедія. 1969-1978.
Дивитися що таке "Катодне розпорошення" в інших словниках:
Катодного розпилення - руйнування тв. тел при бомбардуванні їх поверхні атомами, нонами і нейтронами (вперше спостерігалося як руйнування катода в газовому розряді). Продукти розпилення атоми, покладе. і отрицат. іони, а також нейтр. і іонізуючого. ат. комплекси ... ... Фізична енциклопедія
Катодного розпилення - розпорошення матеріалу (див.) При газовому розряді внаслідок бомбардування катода позитивними іонами. У газорозрядних приладах К. р. шкідливе явище. Осадження металів за допомогою К. р. застосовується для нанесення вельми тонких (частки мікрометра) ... ... Велика політехнічна енциклопедія
Катодного розпилення - руйнування поверхні твердого тіла при бомбардуванні її іонами. Спочатку спостерігалося як руйнування катодів в електровакуумних і газорозрядних приладах. Використовується для очищення поверхонь ... Великий Енциклопедичний словник
катодного розпилення - Отримання покриття розпиленням матеріалу катода при газовому розряді. [ГОСТ 9.008 82] Тематики покриття метал. і неметалл. EN cathode sputtering DE Kathodenzerstäubung FR pulvérisation cathodique ... Довідник технічного перекладача
катодного розпилення - katodinis dulkinimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. cathode disintegration; cathode sputtering; cathodic sputtering vok. Katodenzerstäubung, f rus. катодного розпилення, n; розпорошення катода, n pranc. désagrégation de cathode, f; ... ... Fizikos terminų žodynas
катодного розпилення - руйнування поверхні твердого тіла при бомбардуванні її іонами. Спочатку спостерігалося як руйнування катодів в електровакуумних і газорозрядних приладах. Використовується для очищення поверхонь. * * * Катодного розпилення катодного розпилення, ... ... Енциклопедичний словник
катодного розпилення - katodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros lanke. atitikmenys: angl. cathode sputtering rus. катодного розпилення ... Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
Катодного розпилення - розпорошення в ва з поверхні твердого тіла при бомбардуванні його іонами. Спочатку спостерігалося як руйнування катодів в електровакуумних і газорозрядних приладах. Використовується для очищення поверхонь і виявлення структури в ва (іонну ... ... Великий енциклопедичний політехнічний словник
катодного розпилення - [cathodic sputtering] отримання тонкої плівки покриття розпиленням матеріалу катода при газовому розряді; Дивись також: Розпилення відцентрове розпилення розпорошення газом розпорошення водою ... Енциклопедичний словник по металургії
катодного розпилення - Руйнування поверхневого шару катода при електричному розряді внаслідок ударів позитивних іонів про катод ... Політехнічний термінологічний тлумачний словник
- Методи отримання і властивості нанооб'єктів. Навчальний посібник. Н. Мінько. У посібнику розглянуті основні методи отримання нанооб'єктів, наночастинок, наноструктур: наносборка, іонне бомбардування, ударні хвилі, вакуумне випаровування, катодного розпилення, ... Детальніше Купити за 288 руб
- Методи отримання і властивості нанооб'єктів. Навчальний посібник. Мінько Н.І. У посібнику розглянуті основні методи отримання нанооб'єктів, наночастинок, наноструктур: наносборка, іонне бомбардування, ударні хвилі, вакуумне випаровування, катодного розпилення, ... Детальніше Купити за 226 руб
- Методи отримання і властивості нанооб'єктів. Н. І. Мінько, В. В. Строкова, І. В. Жерновський, В. М. Нарцев. У посібнику розглянуті основні методи отримання нанооб'єктів, наночастинок, наноструктур: наносборка, іонне бомбардування, ударні хвилі, вакуумне випаровування, катодного розпилення, ... Детальніше Купити за 205 грн (тільки Україна)