ТОВ "Лабораторія вакуумних технологій" (товарний знак BeamsPlasmas) займається виробництвом і розробкою технологічних пристроїв і вакуумних технологічних установок на їх основі. Основними видами пристроїв, що випускаються є:
- магнетронні розпилювальні системи (МРС, магнетрони), спеціалізовані під напилення різних матеріалів, а також надшвидкісні напилювальні магнетрони, що забезпечують швидкість осадження металів до 40 мкм / хв;
- іонні джерела з холодним катодом, що забезпечують лінійну щільність струму до 25 мА / см довжини робочої зони;
- електронні гармати з блоками живлення і управління електронним променем, потужністю від 50 до 500 кВт, призначені для вирішення завдань вакуумного напилення і електронно-променевої плавки металів;
- високочастотні генератори плазми. які забезпечують створення щільної низькотемпературної плазми, що є універсальною технологічної середовищем.
Ми випускаємо кілька серій напилювальні і плазмохимических установок різних модифікацій (ІН, ТН, РС, ПС, МО / МТ, ПХО, ПХТ).
Основна відмінність установок "Ніка" - інтуїтивно зрозумілий інтерфейс, високі експлуатаційні характеристики і надійність.
Продукція ТОВ "Лабораторія вакуумних технологій" придатна для реалізації завдань:
- магнетронного напилення;
- іонно-плазмова обробка поверхні;
- азотування карбонітруванні;
- іонну асистування;
- осадження матеріалів в ионизованном стані (Ionized Vapour Deposition);
- плазмохімічне травлення і осадження.
При поставці технологічних пристроїв і установок, а також у вигляді окремої послуги здійснюється супровід у формі консультацій з технічних і технологічних питань.