Шліфування та полірування забезпечують мінімальну шорсткість поверхні пластин, видаляють порушений в процесі різання поверхневий шар.
Під шліфуванням розуміють процес обробки поверхні пластин на шліфовальніка (жорстких дисках з чавуну, сталі, латуні або скла) за допомогою абразивної суспензії - обробка вільним абразивом.
У промисловому виробництві найбільш часто застосовують двосторонню шліфування вільним абразивом. У порівнянні з іншими методами шліфування цим методом більш продуктивна, забезпечує високу точність обробки поверхонь, не вимагає наклейки пластин.
1 - верхній шліфовальнік
2 - нижній шліфовальнік
3 - напівпровідникова пластина
4 - прошарок абразивної суспензії
5 - отвори для надходження суспензії
Для двосторонньої шліфування застосовують водні та гліцеринові суспензії мікропорошків SiC (карбід кремнію) або В4 С (електрокорунд). Шліфування проводять в декілька етапів, поступово зменшуючи зернистість порошку від 28 мкм до 3 мкм.
Руйнування оброблюваної поверхні відбувається за рахунок перекочування зерен абразиву між поверхнями пластин і шліфовальніка. Після шліфування пластини очищають від забруднень, контролюють і передають на полірування.
Полірують пластини на м'яких полировальник. Для цього ткані і неткані матеріали (сатин, батист, сукно, велюр, замшу і ін.) Натягують на звичайний шліфувальний круг і закріплюють. Полірування виконують в декілька етапів, поступово зменшуючи розмір зерна і твердість абразиву, а на останньому етапі повністю виключають абразив.
Полірування повинна бути односторонньою і двосторонньою.
Механічна попередня полірування виконується алмазними суспензиями і пастами з розміром зерен мікропорошку від 3 мкм до 1 мкм.
Остаточна (тонка) полірування виконується м'якими полірувальними складами на базі оксидів алюмінію, кремнію, хрому та інших з розміром зерна менше 1 мкм.
Полірування по своїй суті не відрізняється від шліфування, відмінність полягає лише в застосовуваних абразивних матеріалах, їх зернистості, матеріалі полірувальником і режимах обробки. Механічну полірування іноді називають тонкою шліфуванням.
Після полірування пластини очищають від забруднень і контролюють.
Читайте також
Шліфування та полірування забезпечують мінімальну шорсткість поверхні пластин, видаляють порушений в процесі різання поверхневий шар. Під шліфуванням розуміють процес обробки поверхні пластин на шліфовальніка (жорстких дисках з чавуну, сталі, латуні або. [Читати далі].