Спектроелліпсометр ельф

ПРИЗНАЧЕННЯ ПРИЛАДУ *)

Вимірювання товщини плівок і товщини шарів в тонкоплівкових структурах (метали, напівпровідники і діелектрики; тверді і рідкі плівки).
Вимірювання оптичних констант зразків (метали, напівпровідники і діелектрики; тверді і рідкі середовища).
Дослідження структури матеріалів (склад, нерівномірність просторового розподілу, пористість, ступінь кристалічності і ін.).
Аналіз стану поверхні і структури тонких поверхневих шарів (наявність поверхневих шарів, шорсткість поверхні наномасштабного рівня та ін.).

СФЕРА ЗАСТОСУВАННЯ *)

Технологічний контроль виготовлення тонкоплівкових структур в різних галузях, серед яких:
мікроелектроніка - компоненти і матеріали (інтегральні мікросхеми, світловипромінюючі діоди, дисплеї, пристрої пам'яті, молекулярні перемикаючі пристрої, фотодетектори, сенсори і т.д.);
телекомунікаційні системи;
системи супутникового телебачення;
енергетика (елементи сонячних батарей та ін.);
в органічній хімії - для дослідження властивостей і структури плівок органічних сполук і фізико-хімічних процесів на межах розділу середовищ;
в матеріалознавстві для дослідження структури матеріалів;
в біології та медицині - для дослідження процесів адсорбції білків, згортання крові; в офтальмології - для вивчення сітківки ока;
в екологічних дослідженнях - для контролю за наявністю і товщини плівок нафти на водних поверхнях і т.д.
*) Більш детальна інформація представлена ​​тут (pdf-файл обсягом 414 Кб).

ОПИС ПРИЛАДУ

В основі роботи приладу - еліпсометрія. представляє собою високочутливий і точний поляризационно-оптичний метод дослідження поверхонь і кордонів розділу різних середовищ (твердих, рідких, газоподібних), заснований на вивченні зміни стану поляризації світла при відбитті тобто після взаємодії його з поверхнею кордонів розділу цих середовищ. Опис методу еліпсометрії можна подивитися тут.

Технічні характеристики:

Діапазон довжин хвиль

270 ÷ 10 0 0 нм

особливості приладу

Підвищення точності вимірювань. зниження впливу фонових засвічень і шумів в спектроелліпсометре "Ельф" забезпечується за рахунок використання ряду вдалих конструкційних рішень. Серед них наявність:
мікропріставкі. поліпшує просторову роздільну здатність;
ахроматичні компенсатора. дозволяють підвищити точність вимірювань шарів товщиною менше 10 нанометрів;
вимірювального столик а, що дає можливість переміщати зразок в трьох напрямках;
системи контролю правильності установки зразка.
Прилад має можливість роботи, як в режимі еліпсометрії. так і в режимі спектральної фотометрії.

Переваги приладу:

дозволяє проводити дослідження в звичайній атмосфері, при різних температурах і тисках, в різних середовищах;
забезпечує безконтактність, неруйнівний характер, оперативність вимірювання;
не містить рухомих поляризаційних елементів, що збільшує чутливість і зменшує час вимірювання;
здатний працювати зі слабкими сигналами;
має підвищену чутливість;
знижує вплив шумів за рахунок використання методу вимірювань параметрів з бінарної модуляцією стану поляризації;
сучасне програмне забезпечення, що включає бібліотеку спектрів показників заломлення і поглинання світла різних речовин. Бібліотека може бути доповнена користувачем самостійно.

Комплектація

Схожі статті